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  • 側式真空氣相鍍膜設備。工作時把含有構成薄膜元素的化合物（長鏈性高分子材料，一般為派瑞林Parylene）、單質氣體經(jīng)過昇華、熱解後進入放置產(chǎn)品的真空反應室，借助空間氣相...2018-08-31 11:50:13
  • 緊湊型側式真空氣相沉積設備。工作時把含有構成薄膜元素的化合物（長鏈性高分子材料，一般為派瑞林Parylene）、單質氣體經(jīng)過昇華、熱解後進入放置產(chǎn)品的真空反應室，借助空間氣相...2019-06-01 15:00:13
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